半導(dǎo)體領(lǐng)域—靜電卡盤熒光光纖溫度在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（TSFE）
靜電卡盤表面反應(yīng)區(qū)的溫度對(duì)穩(wěn)定工藝至關(guān)重要，電子式溫度傳感器的測(cè)溫穩(wěn)定性和精度容易受電磁干擾?？涛g機(jī)反應(yīng)區(qū)存在較強(qiáng)射頻場(chǎng)，射頻場(chǎng)的磁場(chǎng)干擾會(huì)影響電子式溫度傳感器的穩(wěn)定性，進(jìn)而對(duì)靜電卡盤的溫度控制帶來不穩(wěn)定性。熒光溫度傳感器是使用稀土熒光物質(zhì)的光學(xué)物性來測(cè)量溫度的光學(xué)測(cè)溫方式，性能不受電磁干擾，結(jié)構(gòu)無導(dǎo)體，還可使用非接觸測(cè)量，測(cè)量手段本身不傳導(dǎo)熱量，不影響熱控。
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